Размещаются по пути: C:\ProgramData\Microsoft\Diagnosis\ETLLogs, занимают значительное место та диске.
Можно безболезненно удалить накопляемые файлы .etl, на работе системы это отразиться не должно. Для приостановки или снижения объемов накопления можно внести изменения посредством «Групповой Политики». Нужный параметр:
Конфигурация компьютера > Административные шаблоны > Компоненты Windows > Сборки для сбора данных и предварительные сборки
или
Computer Configuration > Administrative Templates > Windows Components > Data Collection and Preview Builds